硼在自然界中廣泛存在,包括水環(huán)境,例如海水、地表水和地下水。 水中硼濃度高會對植物生長和人體健康產(chǎn)生負面影響。對于微電子行業(yè),即使是濃度很低的硼也會導致生產(chǎn)線的超純水 (UPW) 系 統(tǒng)和產(chǎn)品產(chǎn)率出現(xiàn)問題。大多數(shù)集成 電路 (IC) 生廠商需要的硼濃度小于 20 ppt,對于一些最新的先進技術(shù)來說,甚至低于 1 ppt。
針對當今硼給集成電路行業(yè)帶來的挑戰(zhàn),半導體級硼選擇性離子交換樹脂是一種很好的解決方案。
因此杜邦集團經(jīng)過多年的研究,經(jīng)過大量的工作和開發(fā)產(chǎn)品等方法,杜邦水處理研發(fā) 了均粒的半導體級 AmberTec UP7530。
杜邦 UP7530 樹脂則為高效除硼提供了有力解決方案。它并非普通樹脂,而是半導體級的均粒樹脂,具有卓越的除硼性能。其除硼原理基于特殊的官能團與硼離子之間的特異性結(jié)合。這種樹脂的粒徑均勻,在再生過程中,各處的樹脂顆粒都能與再生液充分接觸,避免了部分樹脂無法再生的情況,從而確保了除硼性能的穩(wěn)定與持久。
杜邦UP7530樹脂優(yōu)勢:
1.對客戶來說是易于處理的樹脂,且無需消耗化學品,環(huán)保。客戶使用該樹脂可以縮短項目的調(diào)試時間,替代項目可以快速達到正常運行,杜邦UP7530樹脂的交換容量也高,性能也更加可靠。
2.在具有除硼精處理陰床的UPW拋光系統(tǒng):
在補給水水質(zhì)波動時提高出水水質(zhì)和系統(tǒng)穩(wěn)定性;降低更換頻率(AmberTec? UP7530 對比拋光 陰離子);延長拋光樹脂壽命。
運行的溫度范圍在:15-25°C(60-77°F)。運行流速是40 – 60 BV/h
從實際應用案例來看,在微電子行業(yè)的超純水制備中,杜邦 UP7530 樹脂發(fā)揮著關(guān)鍵作用。微電子生產(chǎn)對水質(zhì)要求極高,超純水中硼離子的微量殘留都可能影響產(chǎn)品質(zhì)量。UP7530 樹脂能夠穩(wěn)定、高效地去除水中硼離子,保證產(chǎn)出的超純水硼離子含量達標,滿足微電子生產(chǎn)工藝的嚴苛需求。在一些相關(guān)企業(yè)的超純水系統(tǒng)中,裝填杜邦 UP7530 樹脂的拋光床,持續(xù)穩(wěn)定運行,產(chǎn)出的水質(zhì)純凈度高,為企業(yè)生產(chǎn)高品質(zhì)電子產(chǎn)品提供了可靠保障。
所以說,杜邦 UP7530 樹脂具備高效的除硼性能,能夠有效應對水中硼離子的去除難題,在超純水制備,特別是對水質(zhì)要求嚴苛的行業(yè)中,具有不可替代的重要地位,為保障生產(chǎn)工藝的順利進行與產(chǎn)品質(zhì)量的提升發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
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